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比較評価 GD vs.
1. 半導体装置に組み込まれる、ガス配管への効果
通常のコーティングでは、微細管や配管内部へのコーティングは不可能でした。しかし、GDコーティングは、
その成膜工程により内部へのコーティングが可能になり、ガススケール等による目詰まりが解消されます。
処理前 GDコーティング後
2. メタルマスクへの採用によるコストダウン達成
ファインピッチ化の進むPCBや半導体のメタルマスクでは、電鋳マスクが信頼性を博していますが、そのコス
トから一般的には広がっていません。量産対応のできるレーザー仕様では、孔部側面に半田ペーストが離型し
にくく印刷時に難が生じます。しかし、GDコーティングを施すことで、レーザー+GD処理は電鋳マスクに匹
敵する性能を発揮します。
メタルマスク(SUS) GD処理後 処理前 GD処理後 処理前
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